[发明专利]基板清洗装置及研磨装置有效
| 申请号： | 201310461098.6 | 申请日： | 2013-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN103707179B | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 前田幸次;下元博;中野央二郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/00 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 梅高强;刘煜 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种基板清洗装置，具有：收容基板(W)的清洗槽(1)；配置在清洗槽(1)内的基板保持部(2)；将药液供给于由基板保持部(2)保持的基板(W)的药液喷嘴(5)；以及将清洗液供给于清洗槽(1)内表面(1a)的多个清洗液喷嘴(7)，对清洗槽(1)的内表面(1a)实施粗糙化处理、亲水性材料的涂层等的亲水化处理。采用本发明，可用廉价材料构成清洗槽，同时可防止药液对清洗槽的腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 研磨 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洗装置，其特征在于，具有：收容基板的清洗槽；配置在所述清洗槽内的基板保持部；通过将药液供给于所述基板从而腐蚀所述基板的药液喷嘴，所述基板由所述基板保持部保持；在所述药液喷嘴将药液供给于所述基板的期间，将清洗液供给于所述清洗槽的内表面的多个清洗液喷嘴；以及使所述多个清洗液喷嘴同步摆动的摆动机构，对所述清洗槽的内表面实施亲水化处理，所述多个清洗液喷嘴，沿由所述基板保持部保持的所述基板的全周方向排列，并且，所述多个清洗液喷嘴面对构成所述清洗槽的内表面的正面、背面以及两个侧面地配置。
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