[发明专利]双电机光学元件轴向调节装置有效
| 申请号： | 201310459341.0 | 申请日： | 2013-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN103472555A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 彭海峰;巩岩;孙振;华洋洋;郭抗;倪明阳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 双电机光学元件轴向调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件调心装置中存在的驱动器数量较多，且机构复杂，加工难度大的问题，该装置包括四个电容传感器、镜框、八个联接螺钉、柔顺驱动块和两个压电驱动器，所述四个电容传感器与镜框上表面平行放置，沿镜框上面边缘均布，且与柔顺驱动块的各直角边中点对应；镜框与柔顺驱动块通过联接螺钉固定；两个压电驱动器分别设置在柔顺驱动块的对角位置；镜框内放置光学元件；该装置在快速精密的调整的同时，避免了机械式铰链存在的摩擦、润滑、滞后的问题；柔顺驱动块作用在镜框上，能够有效降低调整力对光学元件面型的破坏；结构简单、需要电机数量少、加工成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 电机 光学 元件 轴向 调节 装置 | ||
【主权项】：
双电机光学元件轴向调节装置，包括四个电容传感器（1）、镜框（2）、八个联接螺钉（3）、柔顺驱动块（4）和两个压电驱动器（5），其特征是，所述四个电容传感器（1）与镜框（2）上表面平行放置，沿镜框（2）上表面边缘均布，且与柔顺驱动块（4）的各直角边中点对应；镜框（2）与柔顺驱动块（4）通过联接螺钉（3）固定；两个压电驱动器（5）分别设置在柔顺驱动块（4）的对角位置；镜框（2）内放置光学元件（6）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310459341.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种无运动部件的偏振调制器
- 下一篇：滤光片俯仰调节装置
