[发明专利]一种嵌入式组合热沉及其制备方法有效
申请号: | 201310441824.8 | 申请日: | 2013-09-25 |
公开(公告)号: | CN103496215A | 公开(公告)日: | 2014-01-08 |
发明(设计)人: | 邱万奇;洪涛 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | B32B15/16 | 分类号: | B32B15/16;B32B37/24 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 宫爱鹏 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种嵌入式组合热沉及其制备方法,该热沉包括一级散热体和二级散热体,以二级散热体为基体,所述一级散热体嵌入基体表层中,形成位于基体表层的复合层,该一体化的结构即为嵌入式组合热沉。其制备方法为:(1)以二级散热体材料为基体,将基体进行软化退火热处理;(2)将金刚石粉配成悬浮液,使金刚石粉沉降在基体表面;在不改变基体表面金刚石分布的前提下,将液面降至低于样品表面,取出样品;(3)减薄样品表面含金刚石粉的液膜厚度,再将金刚石粉压入基体内;最后对样品进行扩散退火处理,冷却后即得上述热沉。一、二级散热体一体化,消除了接触热阻;热沉厚度只有几十微米,热阻很小;减少了工艺环节,降低了成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 嵌入式 组合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种嵌入式组合热沉的制备方法,其特征在于,包括下述步骤:(1)以二级散热体为基体,将基体进行软化退火热处理;(2)将金刚石粉用液体配成悬浮液,然后将基体平放在盛悬浮液的容器底部,使金刚石粉沉降在基体表面;在不改变基体表面金刚石分布的前提下,将液面降至低于样品表面,取出样品;(3)先减薄样品表面含金刚石粉的液膜厚度;再用模压法将样品表面的金刚石粉压入基体内;最后对模压后的样品进行扩散退火处理,冷却后即得到嵌入式组合热沉。
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