[发明专利]防止MOCVD生产氮化镓的氨气回收膜组件堵塞的装置及方法

摘要

本发明公开了一种防止MOCVD生产氮化镓的氨气回收膜组件堵塞的装置，包括前置组件、预处理组件及氨气吸收组件，氨气吸收组件包括膜组件、氨水储罐、换热器一、循环泵一、吸收剂入口和吸收剂出口，所述膜组件设有进气口、出气口、进水口及出水口，预处理组件包括气液传质设备、碱性水罐、循环泵二及换热器二。混合气进入氨气回收膜组件之前先经过气液传质设备，以吸收与水或碱接触生成堵塞膜组件的微溶于水或难溶于水物质的气体杂质，再经过换热器换热升温变成未饱和的湿混合气，以防止饱和或过饱和的湿混合气在氨气回收膜组件在气侧气孔凝结造成膜透水，最后再经过氨气回收膜组件。本发明能有效避免膜组件堵塞，大大延长了氨气回收膜组件的使用寿命。

主权项

防止MOCVD生产氮化镓的氨气回收膜组件堵塞的装置，包括前置组件和氨气吸收组件，所述氨气吸收组件包括膜组件、氨水储罐、换热器一、循环泵一、吸收剂入口和吸收剂出口，所述膜组件设有进气口、出气口、进水口及出水口，所述氨水储罐、循环泵一及膜组件的进水口依次相连，换热器一设于氨水储罐、循环泵一、膜组件间的任一管道上，其特征在于：该装置还包括设于前置组件与氨气吸收组件之间的预处理组件，所述预处理组件包括气液传质设备、碱性水罐、循环泵二及换热器二，所述气液传质设备包括混合气进口、混合气出口、碱性水进口及碱性水出口，所述碱性水进口、碱性水罐、循环泵二及碱性水出口顺次连接，所述换热器二内流通有热水或高温蒸汽，混合气进口与前置组件连接，混合气出口与所述换热器二进口连接，所述换热器二出口与膜组件进气口连接。