[发明专利]具有可移动的门极的微机械传感器装置和相应的制造方法有效
| 申请号： | 201310420679.5 | 申请日： | 2013-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN103663350B | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | O.雅科夫莱夫;A.布曼;A.法伊 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 汲长志,杨国治 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明实现了一种具有移动的门极的微机械传感器装置和一种相应的制造方法。所述具有移动的门极的微机械传感器装置具有场效应晶体管，所述场效应晶体管具有漏极区域（3）、源极区域（4）、位于两者之间的带有第一掺杂类型的通道区域（7）以及可移动的门极（1），所述可移动的门极通过一间隙（Z）与所述通道区域（7）分隔开。所述漏极区域（3）、源极区域（4）和通道区域（7）布置在基体（2）中。在所述基体（2）中，至少在所述通道区域（7）的纵向侧面（S1、S2）上设有氧化区域（8；8a、8b）中。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 移动 微机 传感器 装置 相应 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种具有移动的门极的微机械传感器装置，所述微机械传感器装置具有：场效应晶体管，所述场效应晶体管具有漏极区域（3）、源极区域（4）、位于两者之间的带有第一掺杂类型的通道区域（7）以及可移动的门极（1），所述可移动的门极通过一间隙（Z）与所述通道区域（7）分隔开；其中所述漏极区域（3）、源极区域（4）以及通道区域（7）布置在基体（2）中；并且其中在所述基体（2）中，至少在所述通道区域（7）的纵向侧面（S1、S2）上设有氧化区域（8；8a、8b）。
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