[发明专利]一种减少晶圆葡萄球状缺陷的离子注入机

摘要

本发明涉及一种减少晶圆葡萄球状缺陷的离子注入机，包括晶圆预装载腔体、传送腔体、制程腔体，所述晶圆预装载腔体、传送腔体、制程腔体三者依次互连，所述传送腔体为长方形腔体，在所述传送腔体底部设有两个机械手臂，在所述传送腔体底部平滑板上设有金属板，所述金属板上设有多个通孔。在所述传送腔的腔体底部除机械手臂外的平滑板上装上带有通孔的金属板，在有害微粒移动的过程中，有害微粒容易掉进带有通孔的金属板的通孔中，而不至于滑动到晶圆上，能有效降低离子注入机中有害微粒，减少葡萄球状缺陷的产生，同时也降低设备工程师的负担，机台维护保养周期拉长，生产效率得到显著提高。

主权项

一种减少晶圆葡萄球状缺陷的离子注入机，包括晶圆预装载腔体、传送腔体、制程腔体，所述晶圆预装载腔体、传送腔体、制程腔体三者依次互连，所述传送腔体为长方形腔体，在所述传送腔体底部设有两个机械手臂，其特征在于：在所述传送腔体底部平滑板上设有金属板，所述金属板上设有多个通孔。