[发明专利]离子发生器有效

专利信息
申请号: 201310410080.3 申请日: 2013-09-10
公开(公告)号: CN103682990B 公开(公告)日: 2017-04-12
发明(设计)人: 张谷友和;北野聪;笹田直人 申请(专利权)人: SMC株式会社
主分类号: H01T23/00 分类号: H01T23/00
代理公司: 上海市华诚律师事务所31210 代理人: 梅高强,崔巍
地址: 日本国东京都千*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种离子发生器(10),在离子发生器(10)中,两个输出电阻器(22a、22b)通过切换单元(24)与针状电极(14)连接。在离子发生器(10)的运行期间,直流高压产生电路(20a、20b)分别连续地产生直流高电压。组成切换单元(24)的第一切换开关(28a)和第二切换开关(28b)分别在互相不同的时间段被打开。
搜索关键词: 离子 发生器
【主权项】:
一种离子发生器(10),所述离子发生器(10)通过向电极(14)施加电压以在所述电极(14)附近产生离子,其特征在于,所述离子发生器(10)包括:第一直流电压产生电路(20a),所述第一直流电压产生电路(20a)产生正极性直流电压;第二直流电压产生电路(20b),所述第二直流电压产生电路(20b)产生负极性直流电压;第一电阻器(22a),所述第一电阻器(22a)连接到所述第一直流电压产生电路(20a)的输出侧;第二电阻器(22b),所述第二电阻器(22b)连接到所述第二直流电压产生电路(20b)的输出侧;和切换单元(24),所述切换单元(24)将所述第一电阻器(22a)和所述第二电阻器(22b)与所述电极(14)连接;其中:在所述离子发生器运行期间,所述第一直流电压产生电路(20a)连续地产生所述正极性直流电压并且将产生的所述正极性直流电压连续地输出至所述第一电阻器(22a);在所述离子发生器运行期间,所述第二直流电压产生电路(20b)连续地产生所述负极性直流电压并且将产生的所述负极性直流电压连续地输出至所述第二电阻器(22b);所述正极性直流电压的绝对值大致等于所述负极性直流电压的绝对值;所述切换单元(24)配备有第一切换开关(28a)和第二切换开关(28b),所述第一切换开关(28a)能够建立所述第一电阻器(22a)和所述电极(14)之间的连接,所述第二切换开关(28b)能够建立所述第二电阻器(22b)和所述电极(14)之间的连接;并且所述第一切换开关(28a)和所述第二切换开关(28b)分别在互相不同的时间段被打开。
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