[发明专利]离子发生器有效

专利信息
申请号: 201310410080.3 申请日: 2013-09-10
公开(公告)号: CN103682990B 公开(公告)日: 2017-04-12
发明(设计)人: 张谷友和;北野聪;笹田直人 申请(专利权)人: SMC株式会社
主分类号: H01T23/00 分类号: H01T23/00
代理公司: 上海市华诚律师事务所31210 代理人: 梅高强,崔巍
地址: 日本国东京都千*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 离子 发生器
【权利要求书】:

1.一种离子发生器(10),所述离子发生器(10)通过向电极(14)施加电压以在所述电极(14)附近产生离子,其特征在于,所述离子发生器(10)包括:

第一直流电压产生电路(20a),所述第一直流电压产生电路(20a)产生正极性直流电压;

第二直流电压产生电路(20b),所述第二直流电压产生电路(20b)产生负极性直流电压;

第一电阻器(22a),所述第一电阻器(22a)连接到所述第一直流电压产生电路(20a)的输出侧;

第二电阻器(22b),所述第二电阻器(22b)连接到所述第二直流电压产生电路(20b)的输出侧;和

切换单元(24),所述切换单元(24)将所述第一电阻器(22a)和所述第二电阻器(22b)与所述电极(14)连接;

其中:

所述第一直流电压产生电路(20a)连续地产生所述正极性直流电压;

所述第二直流电压产生电路(20b)连续地产生所述负极性直流电压;

所述切换单元(24)配备有第一切换开关(28a)和第二切换开关(28b),所述第一切换开关(28a)能够建立所述第一电阻器(22a)和所述电极(14)之间的连接,所述第二切换开关(28b)能够建立所述第二电阻器(22b)和所述电极(14)之间的连接;并且

所述第一切换开关(28a)和所述第二切换开关(28b)分别在互相不同的时间段被打开。

2.如权利要求1所述的离子发生器(10),其特征在于,进一步包括:

切换控制电路(26),所述切换控制电路(26)用于控制所述第一切换开关(28a)和所述第二切换开关(28b)打开和闭合时刻;

其中,所述第一切换开关(28a)和所述第二切换开关(28b)是半导体切换元件,通过来自所述切换控制电路(26)的控制信号而被打开或闭合。

3.如权利要求1所述的离子发生器(10),其特征在于,

所述第一直流电压产生电路(20a)和所述第二直流电压产生电路(20b)是科克罗夫特-沃尔顿电路。

4.如权利要求1所述的离子发生器(10),其特征在于,进一步包括:

交流电压产生电路(16、16a、16b),所述交流电压产生电路(16、16a、16b)产生交流电压;和

变压器(18、18a、18b),所述变压器(18、18a、18b)的原绕组与所述交流电压产生电路(16、16a、16b)连接;

其中:

对于其中的每一个由一个交流电压产生电路(16、16a、16b)和一个变压器(18、18a、18b)构成的组合,所述第一直流电压产生电路(20a)与一个组合中的变压器(18a)的副绕组连接;所述第二直流电压产生电路(20b)与另一组合中的变压器(18b)的副绕组连接;或者,所述第一直流电压产生电路(20a)和所述第二直流电压产生电路(20b)共同连接到所述一个组合中的所述变压器(18)的所述副绕组;并且

所述交流电压产生电路(16、16a、16b)连续地产生所述交流电压。

5.如权利要求4所述的离子发生器(10),其特征在于,所述交流电压产生电路(16、16a、16b)包括逆变电路,所述逆变电路将直流输入电压转换成交流电压,并且将所述交流电压输出到所述变压器(18、18a、18b)的所述原绕组。

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