[发明专利]一种以氩气为粗漏示踪气体的积累氦质谱组合检测方法

摘要

本发明公开了一种以氩气为粗漏示踪气体的积累氦质谱组合检测方法，并具体给出了这种粗漏细漏组合检测的程序，包括依据被检件的严密等级τHemin、内腔容积、表面吸附氦氩漏率和检漏历史，选择预充氦氩法或压氦氩法、预充氦法的固定方案或灵活方案和粗漏检测的氩气测量漏率判据RAr0max，设计压氦氩法施压时间和细漏检测最长候检时间、氦气测量漏率判据，进行预充氦氩和压氦氩、去除吸附氦氩、粗漏和细漏检测及补充检测更大粗漏的步骤方法。提高了粗漏检测的灵敏度，延长了细漏检测的最长候检时间，极大地扩展了适用的内腔容积和细漏检测测量漏率判据范围，使积累氦质谱组合检测更为适用、便捷和可行。

主权项

一种以氩气为粗漏示踪气体的积累氦质谱组合检测方法，包括步骤S1选择，其特征在于，对初次密封性检测选择预充氦氩法，对再次密封性检测选择压氦氩法；对于初次密封性检测采用的预充氦氩法，当固定方案规定的严密等级τHemin为2000d、200d和20d，内腔容积，所要求的吸附氦吸附氩的去除及检测的准确度适用时，选择固定方案；对所述的预充氦氩法固定方案，以粗漏检测氩气测量漏率判据RAr0max大于被检件在干燥空气中表面吸附氩漏率的3倍为前提，对应不同内腔容积，分别选择粗漏检测最小可检等效标准漏率L0为0.1Pa·cm3/s、0.3Pa·cm3/s和1.0Pa·cm3/s，RAr0max为7.95×10‑4Pa·cm3/s、2.39×10‑3Pa·cm3/s和7.95×10‑3Pa·cm3/s；对预充氦氩法灵活方案和压氦氩法，视被检件在干燥空气中的吸附氩漏率，可灵活选择RAr0max。