[发明专利]一种液晶制造设备定位工作台校准模块无效
| 申请号： | 201310401868.8 | 申请日： | 2013-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN103472602A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 叶邦华 | 申请（专利权）人： | 苏州凯欧机械科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 曹毅 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是一种液晶制造设备定位工作台校准模块，包括底座，所述底座呈U字形，将所述底座两边的凸起表面进行精研磨构成U字形滑轨，所述U字形滑轨内侧安装有大型滑台，在所述大型滑台上方通过支架固定一台旋转定位装置，所述支架与所述旋转定位装置之间安装有一圈交叉滚子轴承，所述旋转定位装置顶端通过螺钉固定有直线导轨，在所述直线导轨上设置有长条形滑块。采用本发明技术方案，可将本校准模块与各种工作台和基站组合使用，进行XY方向的直线运动和角度θ的校正。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液晶 制造 设备 定位 工作台 校准 模块 | ||
【主权项】：
一种液晶制造设备定位工作台校准模块，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）呈U字形，将所述底座（1）两边的凸起表面进行精研磨构成U字形滑轨（2），所述U字形滑轨（2）内侧安装有大型滑台（3），在所述大型滑台（3）上方通过支架（4）固定一台旋转定位装置（5），所述支架（4）与所述旋转定位装置（5）之间安装有一圈交叉滚子轴承（6），所述旋转定位装置（5）顶端通过螺钉（7）固定有直线导轨（8），在所述直线导轨（8）上设置有长条形滑块（9）。
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