[发明专利]可连续生产的区熔炉装置及其工艺控制方法有效
| 申请号： | 201310399991.0 | 申请日： | 2013-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN103451718A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 傅林坚;曹建伟;欧阳鹏根;王丹涛;陈明杰;石刚;汤承伟;邱敏秀;蒋庆良 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶体生长炉领域，旨在提供可连续生产的区熔炉装置及其工艺控制方法。该可连续生产的区熔炉装置包括炉体、炉室法兰、直线单元、连接块、旋转单元和切割片；该可连续生产的区熔炉装置的工艺控制方法包括籽晶与熔融硅液熔接拉制出硅单晶。本发明在硅单晶生长过程中，需重新开始下一次单晶生长时，本发明可对硅单晶进行切除，迅速重新进行下一次单晶生长，可实现连续生产，节省大量氩气、电能、工时，降低生产成本，并提高单晶生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 连续生产 熔炉 装置 及其 工艺 控制 方法 | ||
【主权项】：
可连续生产的区熔炉装置，包括炉体，其特征在于，还包括炉室法兰、直线单元、连接块、旋转单元和切割片；所述直线单元包括固定座和活动杆，固定座与炉室法兰固定，活动杆一端与固定座连接，另一端穿过炉室法兰并能沿着直线单元轴线方向进行直线伸缩运动，活动杆与炉室法兰之间设有密封，炉室法兰与炉体固定；所述旋转单元通过连接块与活动杆连接，用于通过活动杆的直线伸缩运动进行旋转运动，切割片依次连接连接块和旋转单元，旋转单元带动切割片进行旋转运动，切割片用于切割硅单晶。
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