[发明专利]一种硅块切割方法

摘要

本发明公开了一种硅块切割方法，涉及晶体硅制作技术领域。本发明中，配制砂浆中使用的回收碳化硅用量和回收悬浮液的用量均为40％-100％，砂浆的密度调制为1.625-1.635kg/L，在切割过程中，根据硅块有效切割长度添加砂浆，添加砂浆的添加比例为0.235-0.3L/mm，砂浆的添加量=硅块有效切割长度×砂浆的添加比例；选用导轮，使导轮的槽口与钢线匹配；设定钢线的切割速度设定为12-14m/s、工作台移动速度250-330um/min、砂浆的流量130-160kg/min，切割硅块并冷却；用钢线为外表面设有螺旋形凸起并镀有一层抗氧化层的结构线进行切割。本发明通过钢线的切割速度、工作台移动速度和砂浆的流量的工艺匹配性，降低砂浆的更新，能够降低生产成本，降低了硅片切割时产生的碎片率，提高了成品率，并提高产品的质量。

主权项

一种硅块切割方法，其特征在于，包括以下步骤：    1）配制砂浆并注入浆料缸，在切割过程中，根据硅块有效切割长度添加砂浆；配制砂浆，把砂浆的密度调制为1.625‑1.635kg/L；切割过程中，添加砂浆的添加比例为0.235‑0.3L/mm，mm为硅块有效切割长度，砂浆的添加量=硅块有效切割长度×砂浆的添加比例；2）选用导轮，使导轮的槽口与钢线（1）匹配；3）工艺参数的设定；钢线（1）的切割速度设定为12‑14m/s；工作台移动速度250‑330um/min；砂浆的流量130‑160kg/min；4）开始切割；5）切割结束，进行冷却取出硅片；      所述钢线（1）为结构线，其外表面设有螺旋形凸起（2）并镀有一层抗氧化层（4）。