[发明专利]一种大尺寸和无接缝纳米尺度滚轮模具制造方法在审
| 申请号： | 201310360420.6 | 申请日： | 2013-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN103399460A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 兰红波 | 申请（专利权）人： | 青岛博纳光电装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市高*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大尺寸和无接缝纳米尺度滚轮模具制造方法，它可实现大尺寸、无接缝纳米尺度金属滚轮模具高效和低成本制造。其步骤为：步骤1：制造平板型母板模具；步骤2：制造滚轮基体：制备一个圆柱形滚轮基体，并在其外表面附着金属材料的种子层；步骤3：制造小滚轮工作模具：利用滚对平面纳米压印工艺，将平板型模具上的纳米尺度特征图形转移复制到小滚轮工作模具的压印材料上；步骤4：采用滚对滚型纳米压印工艺，将小滚轮工作模具压印材料上的特征图形转移复制到大滚轮模具紫外固化压印胶上，造出大尺寸金属滚轮模具；步骤5：对金属滚轮模具表面处理，涂覆一层薄的涂覆抗粘附层，得到大尺寸和无接缝纳米尺度金属滚轮模具。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 接缝 纳米 尺度 滚轮 模具 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种大尺寸和无接缝纳米尺度滚轮模具制造方法，其特征在于，步骤1：制造平板型母板模具；步骤2：制造滚轮基体：制备一个圆柱形滚轮基体，并在其外表面附着金属材料的种子层；步骤3：制造小滚轮工作模具：采用空心高透光材料的管体作为基体，在其外表面涂布压印材料，利用滚对平面纳米压印工艺，将平板型模具上的纳米尺度特征图形转移复制到小滚轮工作模具的压印材料上；步骤4：采用滚对滚型纳米压印工艺，将小滚轮工作模具压印材料上的特征图形转移复制到大滚轮模具紫外固化压印胶上，去除残留层后并采用电铸或者溅射或者刻蚀工艺制造出大尺寸金属滚轮模具；步骤5：对金属滚轮模具表面处理，涂覆一层薄的涂覆抗粘附层，得到大尺寸和无接缝纳米尺度金属滚轮模具。
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