[发明专利]压电振动器、蚀刻量检测装置及振荡器无效
| 申请号： | 201310349555.2 | 申请日： | 2013-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN103595369A | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 小山光明;武藤猛;石川学;佐藤信一 | 申请（专利权）人： | 日本电波工业株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/19 | 分类号： | H03H9/19;H03H9/02;H03H3/04 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 日本东京涉谷区笹*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种抑制副振动的产生的压电振动器。对于在以厚度剪切振动为主振动的水晶片的两面分别形成着激励电极的水晶振荡器，在所述水晶片中轮廓剪切振动或弯曲振动等副振动产生的部位，形成通过热处理而晶轴反转了的副振动抑制部。副振动抑制部较理想的是关于激励电极对称地呈点状设置着多个。这些副振动抑制部由于在该部分使副振动的振荡频率移动至低频侧，因此抑制对水晶振荡器的主振动的不良影响。因此，可获得频率特性稳定的水晶振荡器。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 振动器 蚀刻 检测 装置 振荡器 | ||
【主权项】：
一种压电振动器，其特征在于，包括：板状的水晶片；激励电极，设置在所述水晶片的两面；及副振动抑制部，为了抑制在与所述水晶片的主振动不同的频率下进行振荡的副振动，而通过使所述水晶片的晶轴反转而形成。
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