[发明专利]可调谐窄线宽深紫外激光器在审
| 申请号： | 201310346606.6 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN104348073A | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 王睿;滕浩;李德华;魏志义 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H01S3/094 | 分类号： | H01S3/094;H01S3/10;H01S3/11;H01S3/109 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇;王博 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可调谐窄线宽深紫外激光器，包括用于一个输出泵浦激光的泵浦激光器；第一分束镜，用于将泵浦激光分成第一泵浦激光和第二泵浦激光；脉冲式可调谐窄线宽振荡器，包括第一钛宝石晶体，第一泵浦激光入射到脉冲式可调谐窄线宽振荡器中并输出波长780nm-820nm的可调谐种子激光，可调谐种子激光比泵浦激光延时100-150ns；多通放大器，包括第二钛宝石晶体，第二泵浦激光入射到第二钛宝石晶体，多通放大器用于将入射到多通放大器的可调谐种子激光进行功率放大输出可调谐的基频激光；频率变换器，用于将可调谐的基频激光进行4倍频得到波长为195nm-205nm的可调谐深紫外激光。本发明的泵浦激光器数量少，成本低，并且能够用于多种应用场合。 | ||
| 搜索关键词： | 调谐 窄线宽 深紫 激光器 | ||
【主权项】：
一种可调谐窄线宽深紫外激光器，包括：一个泵浦激光器，用于提供泵浦激光；第一分束镜，用于将所述泵浦激光分成第一泵浦激光和第二泵浦激光；脉冲式可调谐窄线宽振荡器，包括第一钛宝石晶体，所述第一泵浦激光入射到所述脉冲式可调谐窄线宽振荡器中并输出波长780nm‑820nm的可调谐种子激光，所述可调谐种子激光比所述泵浦激光延时100‑150ns；多通放大器，包括第二钛宝石晶体，所述第二泵浦激光入射到所述第二钛宝石晶体，所述多通放大器用于将入射到多通放大器的可调谐种子激光进行功率放大输出可调谐基频激光；频率变换器，用于将所述可调谐基频激光进行4倍频得到波长为195nm‑205nm的可调谐深紫外激光。
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