[发明专利]一种用于蓝宝石炉的三等分圆盘称重装置无效
申请号: | 201310340080.0 | 申请日: | 2013-08-06 |
公开(公告)号: | CN103469296A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 朱亮;张俊;付春雷;沈兴潮;周建灿 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/28 | 分类号: | C30B15/28;C30B29/20 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及蓝宝石炉晶体生长炉领域,旨在提供一种用于蓝宝石炉的三等分圆盘称重装置。该三等分圆盘称重装置包括小称重传感器、大称重传感器、称重盘、顶帽、支点和环形的基座,小称重传感器、大称重传感器和支点三点等均固定在基座上,小称重传感器、大称重传感器和支点上各安装有一个半球形的顶帽,且三个顶帽的高度一致,称重盘对中安装在三个顶帽上。本发明结构稳定、对外界的抗干扰性强、测量数据精准,而且大、小量程的选择为在不通阶段的晶体重量测得更加精准。本发明将更有利于蓝宝石炉的引晶工艺的完成,使后期整个长晶过程中的拉速控制有了实际数字参照,为实现自动化引晶检测和长晶做好了准备。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 蓝宝石 三等分 圆盘 称重 装置 | ||
【主权项】:
一种用于蓝宝石炉的三等分圆盘称重装置,包括称重传感器,其特征在于,还包括称重盘、顶帽、支点和环形的基座,所述称重传感器设有两个,分别为小称重传感器和大称重传感器,小称重传感器、大称重传感器和支点三点等均固定在基座上,小称重传感器、大称重传感器和支点上各安装有一个半球形的顶帽,且三个顶帽的高度一致,称重盘对中安装在三个顶帽上。
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