[发明专利]一种用于蓝宝石炉的三等分圆盘称重装置无效
申请号: | 201310340080.0 | 申请日: | 2013-08-06 |
公开(公告)号: | CN103469296A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 朱亮;张俊;付春雷;沈兴潮;周建灿 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/28 | 分类号: | C30B15/28;C30B29/20 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 蓝宝石 三等分 圆盘 称重 装置 | ||
技术领域
本发明是关于蓝宝石炉晶体生长炉领域,特别涉及一种用于蓝宝石炉的三等分圆盘称重装置。
背景技术
在蓝宝石炉的拉制过程中,设备的观察口装置在达到高温之后12小时内,观察玻璃表面会积累一层氧化物,到时候就不能够清楚的观察到炉体内部的情况,并且,在引晶放肩之后,由于保温钨钼的存在,所有的观察视野也被晶体自身给遮挡,那时所有的炉内的晶体生长情况,只能通过晶体的生长重量来判断,所以重量的准确性,对整个拉晶过程至关重要。
一般的蓝宝石炉主要是将一个称重传感器安装在上轴提升上,通过一个杠杆原理来减小称重传感器的量程,这种结构对蓝宝石炉提升机构的刚性要求很大,而且结构采用杠杆原理将称重按倍数缩减,对称重的灵敏度和精确度不高。
发明内容
本发明的主要目的在于克服现有技术中的不足,提供一种能够有效的准确的测量出晶体的生长重量的称重装置。为解决上述技术问题,本发明的解决方案是:
提供一种用于蓝宝石炉的三等分圆盘称重装置,包括称重传感器,还包括称重盘、顶帽、支点和环形的基座,所述称重传感器设有两个,分别为小称重传感器和大称重传感器,小称重传感器、大称重传感器和支点三点等均固定在基座上,小称重传感器、大称重传感器和支点上各安装有一个半球形的顶帽,且三个顶帽的高度一致,称重盘对中安装在三个顶帽上。
作为进一步的改进,所述小称重传感器是准确度等级为0.02~0.05g的称重传感器。
作为进一步的改进,所述大称重传感器是准确度等级为1~5g的称重传感器。
作为进一步的改进,所述小称重传感器、大称重传感器和支点分别等均固定在基座上的三点,三点形成圆,圆的直径满足公式R=K1×L和L=K2×G,其中R为顶帽的半球半径,K1为比例系数,且K1的取值范围为0.25~0.5,L为圆的直径,K2为比例系数,且K2的取值范围为0.5~0.8,G为蓝宝石炉的上轴系统的总重量。
作为进一步的改进,所述蓝宝石炉的上轴系统设置在称重盘上,并使上轴系统的重心与称重盘同心。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
采用一个准确度等级为0.02~0.05g的小称重传感器、一个准确度等级为1~5g的大称重传感器以及一个固定支点,三等分地承托起所测量的上轴以及晶体的重量,使上轴更加稳定,并能精准地测量出晶体的生长重量。本发明结构稳定、对外界的抗干扰性强、测量数据精准,而且大、小量程的选择为在不通阶段的晶体重量测得更加精准。本发明将更有利于蓝宝石炉的引晶工艺的完成,使后期整个长晶过程中的拉速控制有了实际数字参照,为实现自动化引晶检测和长晶做好了准备。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图。
图2为本发明的安装等分示意图。
图中的附图标记为:1称重盘;2顶帽;3小称重传感器;4支点;5大称重传感器;6基座。
具体实施方式
下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述:
图1中的一种用于蓝宝石炉的三等分圆盘称重装置包括称重传感器、称重盘1、顶帽2、支点4和环形的基座6。称重传感器设有两个,分别为小称重传感器3和大称重传感器5,小称重传感器3是准确度等级为0.02~0.05g的称重传感器,主要用于检测前期引晶过程的晶体重量,大称重传感器5是准确度等级为1~5g的称重传感器,主要用于检测后期长晶过程的重量,两个称重传感器量程不一样,精度也不一样,更适合不同阶段的重量检测。小称重传感器3、大称重传感器5和支点4三点等均固定在基座6上,这样能够在测量过程中,使其所承受的力均等为三份,降低了称重传感器的量程,提高其精度。小称重传感器3、大称重传感器5和支点4上各安装有一个半球形的顶帽2,可减少接触面积,避免因摩擦而产生检测到的重量的偏差,且要保证三个顶帽2的高度一致,使三个顶帽2上受力均匀,使称重精确。称重盘1对中安装在三个顶帽2上,也是为了保证受力点能够受力均匀,使称重更加精确。
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