[发明专利]一种用于蓝宝石炉的三等分圆盘称重装置无效

专利信息
申请号: 201310340080.0 申请日: 2013-08-06
公开(公告)号: CN103469296A 公开(公告)日: 2013-12-25
发明(设计)人: 朱亮;张俊;付春雷;沈兴潮;周建灿 申请(专利权)人: 浙江晶盛机电股份有限公司
主分类号: C30B15/28 分类号: C30B15/28;C30B29/20
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人: 周世骏
地址: 312300 浙江省绍兴*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 用于 蓝宝石 三等分 圆盘 称重 装置
【说明书】:

技术领域

发明是关于蓝宝石炉晶体生长炉领域,特别涉及一种用于蓝宝石炉的三等分圆盘称重装置。

背景技术

在蓝宝石炉的拉制过程中,设备的观察口装置在达到高温之后12小时内,观察玻璃表面会积累一层氧化物,到时候就不能够清楚的观察到炉体内部的情况,并且,在引晶放肩之后,由于保温钨钼的存在,所有的观察视野也被晶体自身给遮挡,那时所有的炉内的晶体生长情况,只能通过晶体的生长重量来判断,所以重量的准确性,对整个拉晶过程至关重要。

一般的蓝宝石炉主要是将一个称重传感器安装在上轴提升上,通过一个杠杆原理来减小称重传感器的量程,这种结构对蓝宝石炉提升机构的刚性要求很大,而且结构采用杠杆原理将称重按倍数缩减,对称重的灵敏度和精确度不高。

发明内容

本发明的主要目的在于克服现有技术中的不足,提供一种能够有效的准确的测量出晶体的生长重量的称重装置。为解决上述技术问题,本发明的解决方案是:

提供一种用于蓝宝石炉的三等分圆盘称重装置,包括称重传感器,还包括称重盘、顶帽、支点和环形的基座,所述称重传感器设有两个,分别为小称重传感器和大称重传感器,小称重传感器、大称重传感器和支点三点等均固定在基座上,小称重传感器、大称重传感器和支点上各安装有一个半球形的顶帽,且三个顶帽的高度一致,称重盘对中安装在三个顶帽上。

作为进一步的改进,所述小称重传感器是准确度等级为0.02~0.05g的称重传感器。

作为进一步的改进,所述大称重传感器是准确度等级为1~5g的称重传感器。

作为进一步的改进,所述小称重传感器、大称重传感器和支点分别等均固定在基座上的三点,三点形成圆,圆的直径满足公式R=K1×L和L=K2×G,其中R为顶帽的半球半径,K1为比例系数,且K1的取值范围为0.25~0.5,L为圆的直径,K2为比例系数,且K2的取值范围为0.5~0.8,G为蓝宝石炉的上轴系统的总重量。

作为进一步的改进,所述蓝宝石炉的上轴系统设置在称重盘上,并使上轴系统的重心与称重盘同心。

与现有技术相比,本发明的有益效果是:

采用一个准确度等级为0.02~0.05g的小称重传感器、一个准确度等级为1~5g的大称重传感器以及一个固定支点,三等分地承托起所测量的上轴以及晶体的重量,使上轴更加稳定,并能精准地测量出晶体的生长重量。本发明结构稳定、对外界的抗干扰性强、测量数据精准,而且大、小量程的选择为在不通阶段的晶体重量测得更加精准。本发明将更有利于蓝宝石炉的引晶工艺的完成,使后期整个长晶过程中的拉速控制有了实际数字参照,为实现自动化引晶检测和长晶做好了准备。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图。

图2为本发明的安装等分示意图。

图中的附图标记为:1称重盘;2顶帽;3小称重传感器;4支点;5大称重传感器;6基座。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述:

图1中的一种用于蓝宝石炉的三等分圆盘称重装置包括称重传感器、称重盘1、顶帽2、支点4和环形的基座6。称重传感器设有两个,分别为小称重传感器3和大称重传感器5,小称重传感器3是准确度等级为0.02~0.05g的称重传感器,主要用于检测前期引晶过程的晶体重量,大称重传感器5是准确度等级为1~5g的称重传感器,主要用于检测后期长晶过程的重量,两个称重传感器量程不一样,精度也不一样,更适合不同阶段的重量检测。小称重传感器3、大称重传感器5和支点4三点等均固定在基座6上,这样能够在测量过程中,使其所承受的力均等为三份,降低了称重传感器的量程,提高其精度。小称重传感器3、大称重传感器5和支点4上各安装有一个半球形的顶帽2,可减少接触面积,避免因摩擦而产生检测到的重量的偏差,且要保证三个顶帽2的高度一致,使三个顶帽2上受力均匀,使称重精确。称重盘1对中安装在三个顶帽2上,也是为了保证受力点能够受力均匀,使称重更加精确。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江晶盛机电股份有限公司,未经浙江晶盛机电股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310340080.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top