[发明专利]蒸镀装置及利用此的蒸镀量测量方法

摘要

根据本发明的蒸镀装置包括：多个蒸镀源，喷射蒸镀物质；基板固定部，将基板固定为与蒸镀源面对；蒸镀源挡板，布置在蒸镀源的一侧，并可开闭各个蒸镀源的入口；主挡板，布置在蒸镀源和固定于基板固定部的基板之间，并构成为使蒸镀物质的一部分穿过而蒸镀到基板。根据本发明的实施例，可有效率地掌握存在问题的蒸镀源而均匀地调整多个蒸镀源的蒸镀量。而且，通过准确地掌握存在问题的蒸镀源，可减少材料的损失。

主权项

1.一种蒸镀量测量方法，包括：测试用基板布置步骤，使喷射蒸镀物质的多个蒸镀源和表面被划分为多个区域的测试用基板面对；蒸镀区域设定步骤，将所述测试用基板表面中的一个区域设定为贴附所述蒸镀物质的蒸镀区域；蒸镀源第一开放步骤，从所述多个蒸镀源中选择要测量蒸镀量的部分蒸镀源而开放；第一蒸镀步骤，在所述测试用基板表面的所述一个区域，以与所述部分蒸镀源对应的位置为中心蒸镀所述部分蒸镀源的蒸镀物质；蒸镀源第一封闭步骤，封闭所述一部分蒸镀源，在所述蒸镀源第一封闭步骤之后还包括：蒸镀区域重新设定步骤，将所述测试用基板表面的所述一个区域和另一个区域重新设定为贴附所述蒸镀物质的蒸镀区域；蒸镀源第二开放步骤，从所述多个蒸镀源中选择要测量的另一部分蒸镀源而开放；第二蒸镀步骤，在所述测试用基板表面的所述另一个区域，以与所述另一部分蒸镀源对应的位置为中心蒸镀所述另一部分蒸镀源的蒸镀物质；蒸镀源第二封闭步骤，封闭所述另一部分蒸镀源，所述蒸镀区域设定步骤和所述蒸镀区域重新设定步骤中，将包含形成有在厚度方向贯通的多个开口部的主挡板主体的主挡板布置在所述蒸镀源和所述测试用基板之间，使所述开口部对齐成与所述测试用基板的蒸镀区域以及所述蒸镀源的入口重叠，所述多个蒸镀源布置为沿第一方向具有m个行和沿与所述第一方向交叉的第二方向具有n个列的矩阵形式，所述开口部形成为具有m个行和k个列的矩阵形式，其中k

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