[发明专利]原位测量固-液相界面电化学反应的TEM样品台

摘要

本发明公开了一种原位测量固-液相界面电化学反应的TEM样品台，包括堵片、设在该堵片上的多个独立金属电极和液体腔；其中两个独立金属电极上设有异质结发光源；所述液体腔内具有两个用通道连通的空腔，空腔内部可设置外加电场电极，液体腔上还设置透射电镜观察窗。本发明解决了目前透射电子显微镜（TEM）样品台无法进行固-液界面表征测量的技术难题，从而实现研究材料，特别是在外加电场、光场下纳米结构材料和性质之间关系的目的。

主权项

一种原位测量固‑液相界面电化学反应的TEM样品台，其特征在于：包括堵片（1）、设在该堵片（1）上的多个独立金属电极（2）和液体腔；其中两个独立金属电极（2）上设有异质结发光源（4）；所述液体腔垂直于堵片延伸，包括顶部件（5）、底部件（6）和隔层（8）；所述顶部件（5）和底部件（6）的外表面通过化学气相法生长有低应力氮化硅膜，使用半导体工艺在生长了低应力氮化硅膜的顶部件（5）上形成两个沿顶部件（5）的厚度方向贯通的空洞（5‑1、5‑2），所述两个空洞（5‑1、5‑2）沿垂直于堵片（1）的方向间隔设置；顶部件（5）设置在底部件（6）上，顶部件（5）与底部件（6）的周边结合面之间夹设有隔层（8），从而在空洞（5‑1、5‑2）之间形成通路（14）；还包括盖在所述两个空洞（5‑1、5‑2）的上方的高透光性的顶盖（11）；顶部件（5）、底部件（6）、隔层（8）以及顶盖（11）一起配合，并使用环氧树脂固化剂粘接封装形成液体腔。