[发明专利]一种磁力显微镜及其测量方法

摘要

本发明公开了一种磁力显微镜及其测量方法，该磁力显微镜包括显微镜支架、探针、探测器、激励线圈、扫描器、第一信号发生器、第一信号检测器、控制器及显示器；探针、探测器及扫描器均安装在显微镜支架上，被测样品位于扫描器的上方，探针位于被测样品的上方；第一信号发生器用于产生激励信号，并通过其第一输出端将激励信号发送到激励线圈，同时通过其第二输出端将激励信号发送到第一信号检测器；控制器通过其第一输出端输出电压控制信号到扫描器，从而通过电压控制信号控制扫描器的运动。本发明检测灵敏度高、分辨率好且成像效果好，可较好地反映被测样品的表面磁场分布，可广泛应用于磁性材料的测量中。

主权项

一种磁力显微镜，其特征在于，包括显微镜支架（1）、探针（2）、探测器（3）、激励线圈（5）、扫描器（6）、第一信号发生器（7）、第一信号检测器（8）、控制器（9）及显示器（10）；所述探针（2）、探测器（3）及扫描器（6）均安装在显微镜支架（1）上，所述被测样品（4）位于扫描器（6）的上方，所述探针（2）位于被测样品（4）的上方，且所述探针（2）在靠近被测样品（4）一侧的针尖的表面镀有一层磁性薄膜；所述第一信号发生器（7）用于产生激励信号，并通过其第一输出端将激励信号发送到激励线圈（5），同时通过其第二输出端将激励信号发送到第一信号检测器（8）；所述控制器（9）通过其第一输出端输出电压控制信号到扫描器（6），从而通过电压控制信号控制扫描器（6）的运动；所述激励线圈（5）在激励信号的作用下产生交变磁场从而对探针（2）和被测样品（4）进行调制，使探针（2）受到磁力，所述探针（2）在磁力的作用下发生振动，所述探测器（3）检测探针（2）的振动信息并发送到第一信号检测器（8），所述第一信号检测器（8）对接收到的探针（2）的振动信息进行解调后，得到探针（2）的位置变化信号并发送到控制器（9），所述控制器（9）根据接收到的位置变化信号获得被测样品（4）的磁力图像并通过其第二输出端输出到显示器（10）。