[发明专利]光掩模清洗机及其清洗方法无效
| 申请号： | 201310248655.6 | 申请日： | 2013-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN103341459A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 黄峰;辛海峰 | 申请（专利权）人： | 无锡华润微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 214061*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光掩模清洗机及其清洗方法，该光掩模清洗机包括去离子水喷射单元、气体干燥单元、旋转马达，所述光掩模清洗机还包括与离子水喷射单元、气体干燥单元和旋转马达相连的中央控制器和执行控制模块。本发明光掩模清洗机及其清洗方法通过显示屏的GUI界面进行清洗程序的设置、更改和选择，有助于操作人员对整个清洗程序的监控；执行控制模块有效的简化了设置清洗方案流程，提高工作效率；中央控制器为各个步骤提供了更为精确的时长设定。 | ||
| 搜索关键词： | 光掩模 清洗 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种光掩模清洗机，所述光掩模清洗机包括去离子水喷射单元、气体干燥单元、旋转马达，其特征在于，所述光掩模清洗机还包括与离子水喷射单元、气体干燥单元和旋转马达相连的中央控制器和执行控制模块。
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