[发明专利]一种太阳能硅片检测系统及方法在审
申请号: | 201310245813.2 | 申请日: | 2013-06-19 |
公开(公告)号: | CN104237243A | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
发明(设计)人: | 钟小龙;贾淳 | 申请(专利权)人: | 苏州矽微电子科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/64 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215121 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种太阳能硅片检测系统,包括依次连接的上料单元、PL模组、CCD外观检测单元、分选机构和下料单元,所述上料单元包括两个机械臂及设置在机械臂端部的真空吸盘,CCD外观检测单元包括传送带及设置在传送带上的线阵CCD,所述分选机构包括传送带及设置在传送带上的左、右分料装置。其检测稳定,数据传输速度较快。并且能快速自动将硅片分拣。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能 硅片 检测 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种太阳能硅片检测系统,其特征在于,包括依次连接的上料单元、PL模组、CCD外观检测单元、分选机构和下料单元,所述上料单元包括两个机械臂及设置在机械臂端部的真空吸盘,CCD外观检测单元包括传送带及设置在传送带上的线阵CCD,所述分选机构包括传送带及设置在传送带上的左、右分料装置。
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