[发明专利]电特性检测方法以及检测装置

摘要

本发明提供能够充分地抑制设置在检测对象基板内的构成三角形电路的第一～第三电子部件中的第三电子部件的影响而正确地检测第一和第二电子部件的电特性的电特性检测方法和检测装置。从检测对象基板1的表面的多个第二接触点（7a～7d）和第三接触点（8a～8d）中，以第二接触点与第三电子部件（例如，阻抗元件（5））的第一连接部（5a）之间的布线路径（10）的电阻值、与第三接触点与第三电子部件的第二连接部（5b）之间的布线路径（11）的电阻值为最接近的值的组合的方式，选择第二接触点和第三接触点各一个作为第一和第二选择接触点。经由第一接触点（6a、6b）、第一选择接触点和第二选择接触点来检测第一和第二电子部件（例如，电容器（3、4））的电特性。

主权项

一种电特性检测方法，在检测对象基板内设置将第一～第三电子部件连接成三角状的三角形电路，并且在上述检测对象基板的表面设置有第一接触点和多个第二以及第三接触点，上述第一接触点经由布线路径与相互电连接的上述第一电子部件的第一连接部以及上述第二电子部件的第一连接部电连接，各个上述第二接触点经由布线路径与相互电连接的上述第一电子部件的第二连接部以及上述第三电子部件的第一连接部分别电连接，各个上述第三接触点经由布线路径与相互电连接的上述第二电子部件的第二连接部以及上述第三电子部件的第二连接部分别电连接，上述电特性检测方法是对上述第一电子部件以及上述第二电子部件的电特性进行检测的电特性检测方法，其特征在于，上述电特性检测方法包括：接触点选择步骤，其中，从多个上述第二接触点以及上述第三接触点中，以上述第二接触点与上述第三电子部件的上述第一连接部或者上述第一电子部件的上述第二连接部之间的上述布线路径的电阻值、与上述第三接触点与上述第三电子部件的上述第二连接部或者上述第二电子部件的上述第二连接部之间的上述布线路径的电阻值为最接近的值的组合的方式，选择上述第二接触点以及上述第三接触点各一个作为第一以及第二选择接触点；以及电特性检测步骤，其中，经由与上述第一接触点连接的探针、与上述第一选择接触点连接的探针以及与上述第二选择接触点连接的探针，来检测上述第一电子部件以及上述第二电子部件的电特性。