[发明专利]晶圆可接受测试机台的派工方法有效

专利信息
申请号: 201310221341.7 申请日: 2013-06-04
公开(公告)号: CN103413771A 公开(公告)日: 2013-11-27
发明(设计)人: 沈晓栋;周波;邵雄;娄晓祺 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;G06Q10/06
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 竺路玲
地址: 201210 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开一种晶圆可接受测试机台的派工方法,包括如下步骤:步骤1.设定派工规则;步骤2.对在在线监控测试区域的产品归类排序、检查计算,由派工系统派工,得到初级产品;步骤3.由传送系统将初级产品传送至最终出货测试区域,二次归类排序、二次检查计算,由派工系统二次派工。本发明设定派工规则,分别定义各类别产品在Inline WAT区域和Final WAT区域的排序,并按照派工规则对WAT机台派工,通过检查计算,每次安排一批产品进行测试,及时高效地完成WAT区域的测试过程;实现了WAT机台无人操作的自动化派工生产,最大限度的发挥了WAT区域的WAT机台的产能。
搜索关键词: 可接受 测试 机台 方法
【主权项】:
一种晶圆可接受测试机台的派工方法,其应用于一设有设定单元、输入排序单元、检查计算单元和输出单元的主机、一派工系统以及一传送系统上,其中,晶圆可接受测试机台所在的晶圆可接受测试区域包括在线监控测试区域和最终出货测试区域,其特征在于,包括如下步骤:步骤1,通过设定单元对各类别产品分别设定在线监控测试区域和最终出货测试区域的派工规则;步骤2,对在所述在线监控测试区域的产品按照所述在线监控测试区域的派工规则通过主机进行归类排序、检查计算,由派工系统根据检查计算结果向晶圆可接受测试机台派工,得到所述在线监控测试区域测试后的初级产品;步骤3,由传送系统将所述初级产品传送至所述最终出货测试区域,按照所述最终出货测试区域的派工规则通过主机进行二次归类排序、二次检查计算,由派工系统根据二次检查计算结果向晶圆可接受测试机台二次派工。
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