[发明专利]晶圆可接受测试机台的派工方法有效
申请号: | 201310221341.7 | 申请日: | 2013-06-04 |
公开(公告)号: | CN103413771A | 公开(公告)日: | 2013-11-27 |
发明(设计)人: | 沈晓栋;周波;邵雄;娄晓祺 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G06Q10/06 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 竺路玲 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开一种晶圆可接受测试机台的派工方法,包括如下步骤:步骤1.设定派工规则;步骤2.对在在线监控测试区域的产品归类排序、检查计算,由派工系统派工,得到初级产品;步骤3.由传送系统将初级产品传送至最终出货测试区域,二次归类排序、二次检查计算,由派工系统二次派工。本发明设定派工规则,分别定义各类别产品在Inline WAT区域和Final WAT区域的排序,并按照派工规则对WAT机台派工,通过检查计算,每次安排一批产品进行测试,及时高效地完成WAT区域的测试过程;实现了WAT机台无人操作的自动化派工生产,最大限度的发挥了WAT区域的WAT机台的产能。 | ||
搜索关键词: | 可接受 测试 机台 方法 | ||
【主权项】:
一种晶圆可接受测试机台的派工方法,其应用于一设有设定单元、输入排序单元、检查计算单元和输出单元的主机、一派工系统以及一传送系统上,其中,晶圆可接受测试机台所在的晶圆可接受测试区域包括在线监控测试区域和最终出货测试区域,其特征在于,包括如下步骤:步骤1,通过设定单元对各类别产品分别设定在线监控测试区域和最终出货测试区域的派工规则;步骤2,对在所述在线监控测试区域的产品按照所述在线监控测试区域的派工规则通过主机进行归类排序、检查计算,由派工系统根据检查计算结果向晶圆可接受测试机台派工,得到所述在线监控测试区域测试后的初级产品;步骤3,由传送系统将所述初级产品传送至所述最终出货测试区域,按照所述最终出货测试区域的派工规则通过主机进行二次归类排序、二次检查计算,由派工系统根据二次检查计算结果向晶圆可接受测试机台二次派工。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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