[发明专利]一种硅粉的制备设备

摘要

本发明适用于化学合成技术领域，提供了一种硅粉的制备设备，所述设备包括反应腔室、射频电源、抽真空系统及喷淋电极。本发明采用等离子体增强热丝化学气相沉积（PE-HWCVD）的设备制备硅粉，借助射频装置使得含硅气体局部形成等离子体，利用等离子体化学活性强的特点，使得硅原子基团分解而沉积在衬底上形成团簇进而结成粉末，产量大、得到的硅粉质量好、纯度高。

主权项

一种硅粉的制备设备，其特征在于，所述设备包括反应腔室、射频电源、喷淋电极、抽真空系统；所述的反应腔室设有反应气体接口、射频电源接入串口、加热电源接口及排气口；所述喷淋电极设于反应腔室内，其包括气顶盒、第一加热器、射频电极板及接地电极板；所述气顶盒设有布气管道，布气管道设有多个排气孔；所述布气管道与反应气体接口连接，反应气体在布气管道流动，通过布气管道的排气孔，喷向射频电极板和接地电解板；所述的射频电极板通过反应腔室的射频电源接入串口与射频电源连接；所述抽真空系统与反应腔室的排气口连接；所述的第一加热器通过反应腔室的加热电源接口与加热电源连接；当外部射频电源输入时，射频电极板与接地电极板之间的反应气体电离成等离子体，等离子体分解沉积于两电极板上，所述反应气体为含硅气体。