[发明专利]基于温度控制系统的OLED有机层蒸镀温度控制方法

摘要

本发明公开了一种基于温度控制系统的OLED有机层蒸镀温度控制方法，包括预热过程和蒸镀过程，其中，预热过程分三个具有温度梯度的升温过程；蒸镀过程以实测沉积速率曲线为依据，并通过控制蒸发电源功率控制蒸发源温度。本发明所述的基于温度控制系统的OLED有机层蒸镀温度控制方法缩短了蒸发源温度和沉积速率的稳定时间，提高蒸发源有机材料的利用率，同时避免因温度上升过快或温度上升过高导致的有机材料的降解变性等，降低生产成本；蒸镀过程利用蒸发温度变化1%，蒸发速率将变化20%-30%的特性，提高温度控制的精确度，保持蒸发温度的稳定性，提高蒸镀膜的均一性。

主权项

一种基于温度控制系统的OLED有机层蒸镀温度控制方法，其特征在于：包括预热过程和蒸镀过程，预热过程是指蒸发源温度从环境温度升至设定温度的过程，分三个阶段，第一阶段中温度由环境温度升至设定温度的60%‑85%，第二阶段中温度升至第一阶段末温度与设定温度的平均值温度，第三阶段中温度升至设定温度；蒸镀过程中蒸镀材料的沉积速率随蒸发源温度变化而波动形成速率曲线，蒸发源温度又随电源功率的变化而变化，蒸镀过程以实时测得的速率曲线为依据，通过调节蒸镀电源功率对蒸发源温度进行控制；以设定沉积速率为界限，所述速率曲线分为上升区和下降区，其中，上升区是指实际沉积速率低于设定沉积速率的区域，下降区是指实际沉积速率高于设定沉积速率的区域；当速率位于上升区时，增加蒸镀电源功率；当速率位于下降区时，降低电源功率。