[发明专利]电化学处理器中的密封环有效
| 申请号： | 201310183105.0 | 申请日： | 2013-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN103426831B | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 诺兰·L·齐默曼;乔治·马汀格;格雷戈里·J·威尔逊;埃里克·A·英格哈特;拉姆齐·巴拉穆鲁加恩 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L23/16 | 分类号： | H01L23/16 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于电化学处理器的密封环，所述密封环在按压抵靠晶片表面时不横向滑移或偏转。所述密封环可在处理器的转子上，其中密封环具有外壁，所述外壁通过末端接合至尖端圆弧。所述外壁可为直壁。相对刚性的支撑环可附接至密封环，以提供更精确的密封尺寸。也可使用在晶片表面上横向地滑移或偏转的刀口密封环。在这些设计中，滑移是大体上均匀且一致的，从而产生改进的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 电化学 处理器 中的 密封 | ||
【主权项】：
一种电化学处理器，包含：容器；转子，所述转子能够与所述容器啮合；密封环，所述密封环在所述转子上，所述密封环具有外壁，所述外壁通过末端接合至尖端圆弧，其中所述末端的半径小于0.25mm，且所述尖端圆弧的半径小于0.75mm。
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