[发明专利]一种矩形结构的马赫-曾德尔电光调制器有效
| 申请号： | 201310173096.7 | 申请日： | 2013-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN103246088A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 刘克;牟思璇 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 魏聿珠 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种矩形结构的马赫-曾德尔电光调制器，属于集成光学技术领域。输入波导和L型参考臂的一端互相垂直交汇成T字型结构，在交汇处刻蚀填充介质材料的分光微纳沟槽，所述的输入波导的一端作为调制器的光路输入端，另一端作为输出端与L型相移臂的一端相连；所述的L型参考臂和L型相移臂分别构成马赫-曾德尔干涉结构中所需的一条光路；输出波导和L型相移臂互相垂直交汇成T字型结构，在交汇处刻蚀填充介质材料的分光微纳沟槽；输出波导的一端作为调制器的光路输出端，另一端作为输入端与L型参考臂的另一端相连。本发明结构高效紧凑，与传统参考臂或者相移臂长度只能在一维方向级联比较，本发明易于向二维方向扩展集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 矩形 结构 马赫 曾德尔 电光 调制器 | ||
【主权项】：
一种矩形结构的马赫‑曾德尔电光调制器，其特征在于：输入波导(1)和L型参考臂（7）的一端互相垂直交汇成T字型结构，在交汇处刻蚀填充介质材料的分光微纳沟槽（2），所述的输入波导(1)的一端作为调制器的光路输入端，另一端作为输出端与L型相移臂（4）的一端相连；所述的L型参考臂（7）和L型相移臂（4）分别构成马赫‑曾德尔干涉结构中所需的一条光路；输出波导（10）和L型相移臂（4）互相垂直交汇成T字型结构，在交汇处刻蚀填充介质材料的分光微纳沟槽（8）；输出波导（10）的一端作为调制器的光路输出端，另一端作为输入端与L型参考臂（7）的另一端相连。
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