[发明专利]磁致伸缩固体振子双轴微陀螺

摘要

一种微机电技术领域的磁致伸缩固体振子双轴微陀螺，包括：固体振子、用于驱动固体振子振动的下定子、上定子以及三个磁敏传感器，其中：下定子和上定子对称设置于固体振子的上端面和下端面，三个磁敏传感器分别设置于固体振子的三个侧面上且分别感应固体振子的X轴向磁场变化、Y轴向磁场变化和Z轴向磁场变化，输出相应的电信号以对应实现微陀螺的Y轴向输入角速率的测量、X轴向输入角速率的测量和Z轴向参考振动的监测。本发明微陀螺利用整体式磁致伸缩材料的固体振子同时实现科氏加速度效应耦合微陀螺的驱动振动和检测振动，且能同时测量双输入轴角速率，灵敏度高；采用MEMS技术制造，体积小。

主权项

一种磁致伸缩固体振子双轴微陀螺，其特征在于，包括：上、下端面为正方形的长方体形状的固体振子、用于驱动固体振子振动的下定子、上定子以及三个磁敏传感器，其中：下定子和上定子对称设置于固体振子的上端面和下端面，设固体振子的中心为惯性坐标系OXYZ的原点O，OZ方向垂直于上定子或下定子所在的平面，三个磁敏传感器分别设置于固体振子的三个侧面上且分别感应固体振子的X轴向磁场变化、Y轴向磁场变化和Z轴向磁场变化，输出相应的电信号以对应实现微陀螺的Y轴向输入角速率的测量、X轴向输入角速率的测量和Z轴向参考振动的监测；所述的下定子和上定子的结构相同，包括：对固体振子产生偏置静磁场的永磁体和对固体振子产生叠加的变化磁场的驱动平面线圈。