[发明专利]振动片和陀螺传感器、以及电子设备和移动体

摘要

本发明提供振动片和陀螺传感器、以及电子设备和移动体。所述振动片能够维持机械强度且提高输出信号的S/N比。振动片具有基部。驱动用振动臂、检测用振动臂及调节用振动臂（63）从基部起延伸。在调节用振动臂（63）上结合有第一调节用电极（68）和第二调节用电极（69）。第一调节用电极（68）生成第一相位的电信号。第二调节用电极（69）生成与第一相位成为反相位的第二相位的电信号。通过调节用电极（68）、（69）的电信号被重叠在检测用振动臂的检测信号上，从而实现对漏泄振动成分的抵消。在第一电极片（68a）与第二电极片（68b）之间部分地夹持有调节用振动臂（63），在第三电极片（69a）与第四电极片（69b）之间部分地夹持有调节用振动臂（63）。

主权项

一种振动片，其特征在于，具备：基部；驱动用振动臂和检测用振动臂，其从所述基部起延伸；调节用振动臂，其从所述基部起延伸；第一调节用电极，其被设置在所述调节用振动臂上，并输出第一相位的电信号；第二调节用电极，其被设置在所述调节用振动臂上，并输出与所述第一相位成为反相位的第二相位的电信号，所述调节用振动臂具备：第一面；第二面，其位于所述第一面的相反侧；第一侧面和第二侧面，其连接所述第一面和所述第二面；第一槽，其被形成于所述第一面上，且在所述调节用振动臂的长度方向上延伸，并且具有所述第一侧面侧的第一壁面以及所述第二侧面侧的第二壁面；第二槽，其被形成于所述第二面上，且在所述调节用振动臂的长度方向上延伸，并且具有所述第一侧面侧的第三壁面以及所述第二侧面侧的第四壁面，所述第一调节用电极具备：第一电极片，其被设置在所述第一侧面上；第二电极片，其被设置在所述第一壁面和所述第三壁面上，所述第二调节用电极具备：第三电极片，其被设置在所述第二侧面上；第四电极片，其被设置在所述第二壁面和所述第四壁面上，通过将由所述第一调节用电极输出的电信号和由所述第二调节用电极输出的电信号重叠而得到的所述调节用振动臂的电信号，相对于所述检测用振动臂的漏泄振动的电信号为反相位，在所述检测用振动臂上，设置有根据被施加于所述驱动用振动臂上的物理量而输出电信号的检测电极，所述第一调节用电极与所述检测电极被电连接，所述第二调节用电极与所述检测电极被电连接。