[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201310095050.8 | 申请日： | 2013-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN103361608A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 大工博之;菊地昌弘;松本祐司 | 申请（专利权）人： | 日立造船株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 李雪春;王维玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀装置，在规定的蒸镀速率所必要的坩埚（22）的最小限温度下进行蒸镀，当坩埚（22）内的蒸镀材料（24）减少、来自坩埚（22）的蒸镀材料（24）的蒸发量（从坩埚（22）供给的蒸发粒子的形成）减少而导致蒸镀速率降低，为了维持规定的蒸镀速率而使流量控制阀（19）的开度急剧变大的情况下，使坩埚（22）的目标加热温度以增量上升。其结果，来自坩埚（22）的蒸镀材料（24）的蒸发量增加，维持了规定的蒸镀速率。通过使目标温度依次以增量上升，不仅能防止蒸镀材料（24）的热劣化且可以将蒸镀材料（24）使用到最后，并可以将蒸镀材料（24）的残留降到最低值。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，使蒸发的蒸镀材料在真空槽内附着到被蒸镀构件上，所述蒸镀装置的特征在于包括：坩埚，加热所述蒸镀材料并使其蒸发；以及流路，将从所述坩埚蒸发的蒸镀材料向所述真空槽内的所述被蒸镀构件引导，设置有用于检测所述坩埚的温度的温度传感器，在所述流路上设置有具备开度调节功能的阀，在所述真空槽内设置有用于检测所述被蒸镀构件的膜厚的膜厚监视器，并且设置有控制器，利用所述膜厚监视器检测出的膜厚来检测所述被蒸镀构件的蒸镀速率，调节所述阀的开度以使所述蒸镀速率成为规定的蒸镀速率，并且检测所述阀的开度的变化率，当所述变化率超过稳定在规定的蒸镀速率的状态下的稳定变化率时，使所述坩埚的设定温度以增量上升，从而增加所述蒸镀材料的蒸镀量。
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