[发明专利]一种侧腔充油结构的圆筒式超高压力传感器

摘要

一种侧腔充油结构的圆筒式超高压力传感器，包括弹性元件底座，弹性元件底座上部为承压圆筒，在承压圆筒的中心是承压孔，承压圆筒的侧壁设有一个或一个以上的充油腔，敏感元件上的惠斯通电桥通过金丝引线与转接板连接，电缆线的一端与转接板的输出相连，另一端与外部电路相连接，充油腔内充满不可压缩硅油，被测介质压力直接作用在承压孔内，使充油腔发生与被测压力成正比的体积变形量，然后通过不可压缩硅油将该变形量传递到敏感元件上，基于单晶硅压阻效应，敏感元件上的四个压敏电阻阻值发生变化，在恒定电源激励下，由四个压敏电阻组成惠斯通全桥输出与被测压力成正比的电信号，从而进行超高压压力的检测，本发明的承受压力可达1.5GPa以上。

主权项

一种侧腔充油结构的圆筒式超高压力传感器，包括弹性元件底座1，其特征在于：弹性元件底座（1）上部为承压圆筒（3），在承压圆筒（3）的中心是承压孔（2），承压圆筒（3）的侧壁设有一个或一个以上的充油腔（7），当设有一个充油腔（7）时，即单孔式结构，充油腔（7）的上端和承压圆筒（3）的顶部相通，敏感元件（9）装配在充油腔（7）的上端，敏感元件（9）上设有惠斯通电桥，由金丝引线（10）将惠斯通电桥与转接板（4）连接；转接板（4）安装在承压圆筒（3）的顶部，外壳（5）装在弹性元件底座（1）上，弹性元件底座（1）上半部分被外壳（5）包围，除电缆线（6）以外的所有零件全部被外壳包围；电缆线（6）的一端与转接板（4）的输出相连；电缆线（6）的另一端由固线帽固定并穿过外壳（5），与外部电路相连接，充油腔（7）侧壁开有充油密封孔（8），充油腔（7）内充满不可压缩硅油；当设有一个以上的充油腔（7）时，即多孔式结构，充油腔（7）的孔正中心沿以承压孔（2）为圆心的圆轴对称的布置在承压圆筒（3）侧壁内，承压圆筒（3）的顶部设有上盖（12），敏感元件（9）安装在上盖（12）上，敏感元件（9）上设有惠斯通电桥，由金丝引线（10）将惠斯通电桥与转接板（4）的输入连接；转接板（4）安装在上盖（12）的顶部，外壳（5）装在弹性元件底座（1）上，弹性元件底座（1）上半部分被外壳（5）包围，除电缆线（6）以外的所有零件全部被外壳包围，电缆线（6）的一端与转接板（4）的输出相连；电缆线（6）的另一端由固线帽固定并穿过外壳（5），与外部电路相连接，充油腔（7）侧壁开有充油密封孔（8），充油腔（7） 内充满不可压缩硅油。