[发明专利]声表面波谐振器无效
| 申请号： | 201310072277.0 | 申请日： | 2013-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN103117728A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 惠国华;陈丹妮;尹芳缘 | 申请（专利权）人： | 浙江工商大学 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25 |
| 代理公司： | 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) 33221 | 代理人： | 应圣义 |
| 地址： | 310035 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种声表面波谐振器，包括压电基片、叉指换能器、两个反射栅和两个吸声件。压电基片为ST切型石英。叉指换能器刻蚀于压电基片。叉指换能器发出433.92MHz的中心频率，周期节长度M=7.2μm，叉指宽度a=1.9μm，叉指间距b=1.7μm，指条对数N=100，声孔径W=720μm，叉指指条的铝条厚度H=200nm。两个反射栅分别刻蚀于叉指换能器的两侧，每侧的反射栅指条数目Nref=200，两侧的反射栅与叉指换能器之间的距离s=9.0μm。两个吸声件分别设置于两个反射栅远离叉指换能器的一侧。本发明的声表面波谐振器具有更高的品质因数Q及频率稳定性，不易受环境影响，具备体积小、重量轻等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 谐振器 | ||
【主权项】：
一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：压电基片，为ST切型石英；叉指换能器，刻蚀于所述压电基片，叉指换能器发出433.92MHz的中心频率，周期节长度M=7.2μm，叉指宽度a=1.9μm，叉指间距b=1.7μm，指条对数N=100，声孔径W=720μm，叉指指条的铝条厚度H=200nm；两个反射栅，分别刻蚀于所述叉指换能器的两侧，每侧的反射栅指条数目Nref=200，两侧的反射栅与叉指换能器之间的距离s=9.0μm；两个吸声件，分别设置于所述两个反射栅远离所述叉指换能器的一侧。
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