[发明专利]脆性材料基板的刻划装置有效
| 申请号： | 201310057412.4 | 申请日： | 2013-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN103288341A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 高松生芳;三浦善孝;富永圭介 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/023 | 分类号： | C03B33/023 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种刻划装置，具备用来对加工对象的脆性材料基板的上面加工刻划线的上部刀轮、用来对加工对象的脆性材料基板的下面加工刻划线的下部刀轮的至少其中一方，设有以与前述脆性材料基板的刻划线形成的面呈现同一平面的水平面为基板基准面，并在基板的至少一部分从此基板基准面往刀轮侧变位时检知该变位的变位检知机构。借由本发明，能够在刻划步骤的加工中事先解决因完全分断而产生的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性 材料 刻划 装置 | ||
【主权项】：
一种刻划装置，具备用来对加工对象的脆性材料基板的上面加工刻划线的上部刀轮、用来对脆性材料基板的下面加工刻划线的下部刀轮的至少其中一方，其特征在于：设有以与前述脆性材料基板的刻划线形成的面呈现同一平面的水平面为基板基准面，并在基板的至少一部分从此基板基准面往刀轮侧变位时检知该变位的变位检知机构。
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