[发明专利]一种用于反应源瓶的取放装置有效
申请号: | 201310056628.9 | 申请日: | 2013-02-22 |
公开(公告)号: | CN103132052A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 兰云峰;龙睿芬;李一吾;苏艳波 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹 |
地址: | 100015 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于反应源瓶的取放装置,包括:两枚调整螺柱和调整支撑板,调整螺柱与调整支撑板螺纹连接,通过调节调整螺柱的螺纹位置控制调整支撑板的升降;还包括导向轴套、导向轴、导向轴固定螺钉,导向轴套套装在导向轴上,导向轴在导向轴套内滑动,导向轴固定螺钉用于固定导向轴;还包括导轨、导轨固定板和导轨支撑板,能够在松开反应源瓶接口连接后,对调整螺柱进行调节,拉动导轨固定板轻松移出反应源瓶,还可以减少移出过程中由于操作不当对接口处的破坏影响,通过平稳的导轨将反应源瓶滑出也对反应源瓶内流体起到积极的紊流作用,更有利于对反应源瓶的安装及维护要求,具有结构完善、整体性强、控制灵活、调节效果好等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 反应 装置 | ||
【主权项】:
一种用于反应源瓶的取放装置,其特征在于,所述取放装置具体包括:两枚调整螺柱和调整支撑板;所述两枚调整螺柱分别在所述反应源瓶的两侧,并且所述调整螺柱与所述调整支撑板螺纹连接,通过调节所述调整螺柱的螺纹位置控制所述调整支撑板的升降,进而调节所述反应源瓶的升降位置。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的