[发明专利]透射X射线分析装置

摘要

本发明提供一种透射X射线分析装置，其在利用TDI传感器检测样品的透射X射线像时，能够容易且在宽范围内调整TDI传感器的累加级数。一种检测带状连续的样品（100）的透射X射线像的透射X射线分析装置1，其具备时间延迟积分方式的TDI传感器（14）；与TDI传感器相向配置的X射线源（12）；一对支承辊（31、32），其在TDI传感器和X射线源之间沿连结TDI传感器和X射线源的检测方向S离开TDI传感器而配置，并保持TDI传感器和样品之间的间隔为固定的同时，将样品输送到TDI传感器的检测位置；一对外侧辊（51、52），其沿输送方向L分别配置于支承辊更外侧并输送样品。沿检测方向，相邻的支承辊和外侧辊配置于不同的位置，在一对支承辊之间对样品施加张力。

主权项

一种透射X射线分析装置，检测带状连续地向既定的输送方向移动的样品的透射X射线像，所述透射X射线分析装置具备：TDI传感器，为时间延迟积分方式的TDI传感器，所述时间延迟积分方式的TDI传感器二维状地具备读出对来源于所述透射X射线像的图像进行光电转换而产生的电荷的多个摄像元件，所述TDI传感器在所述输送方向上多级排列在与所述输送方向垂直的方向上排列所述摄像元件的线传感器，并将累积于一个线传感器的电荷向相邻的下一个线传感器输送；X射线源，与所述TDI传感器相向而配置；一对支承辊，在所述TDI传感器和所述X射线源之间沿连结所述TDI传感器和所述X射线源的检测方向离开所述TDI传感器而配置，并保持所述TDI传感器和所述样品之间的间隔为固定并且将所述样品输送到所述TDI传感器的检测位置；以及一对外侧辊，沿所述输送方向分别配置于所述支承辊更外侧，并输送所述样品，沿所述检测方向，相邻的所述支承辊和所述外侧辊配置于不同位置，在所述一对支承辊之间对所述样品施加张力，所述一对支承辊安装于所述TDI传感器。