[发明专利]电子级氢氟酸制备方法有效
| 申请号： | 201310052553.7 | 申请日： | 2013-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN103991847A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 万群平;吴云秀 | 申请（专利权）人： | 福建省邵武市永晶化工有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/19 | 分类号： | C01B7/19 |
| 代理公司： | 北京元本知识产权代理事务所 11308 | 代理人： | 何志原 |
| 地址： | 354001 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子级氢氟酸的制备方法，包括以下步骤：将工业无水氟化氢液体和纯水通入精馏塔中，形成第一浓度的氢氟酸；然后加入过氧化氢溶液，氧化其中的砷、硅杂质，再进行精馏；将精馏得到的氟化氢气体冷凝成氟化氢液体，进行第一次过滤，并用纯水吸收成第二浓度的氢氟酸，再进行第二次过滤，得到电子级氢氟酸产品；将尾气用纯水吸收，制成工业级氢氟酸。本发明制备工艺简单，不引入额外杂质，制备的电子级氢氟酸达到半导体设备和材料国际标准SEMI-C7标准，产量高、成本低，采用一条生产工序既可制备电子级氢氟酸又可制备分析纯级氢氟酸。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 氢氟酸 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种电子级氢氟酸的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将工业无水氟化氢液体和纯水通入精馏塔中，形成第一浓度的氢氟酸；在第一浓度的氢氟酸中，加入过氧化氢溶液，进行氧化处理，氧化其中的砷、硅杂质；接着在精馏塔中进行精馏，杂质留在精馏塔的塔釜，在精馏塔塔顶得到纯化的氟化氢气体；（2）将纯化的氟化氢气体通入吸收塔中，进行冷凝处理，得到氟化氢液体；（3）将步骤（2）中得到的氟化氢液体进行第一次过滤，以除去大颗粒杂质；（4）将第一次过滤后除去大颗粒杂质的氟化氢液体从成品中间槽底部通入成品中间槽，在成品中间槽中用纯水吸收，得到第二浓度的氢氟酸；（5）将第二浓度的氢氟酸进行第二次过滤，以除去小颗粒杂质，然后进行无尘罐装，得到电子级氢氟酸产品；（6）将制备电子级氢氟酸过程中产生的尾气用纯水吸收，以制成工业级氢氟酸。
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