[发明专利]一种基于定量确定最长候检时间的氦质谱细检漏方法

摘要

本发明公开了一种基于定量确定最长候检时间的氦质谱细检漏方法，给出了在密封性氦质谱检测过程中定量确定细检漏最长候检时间的方法，并以合格密封电子元器件的最小氦气交换时间常数——严密等级τHemin作为氦质谱细检漏的基本判据，给出了确定测量漏率判据的方法。基于以上提出的定量确定最长候检时间方法，如摘要附图所示，对大部分内腔容积范围，准确确定的最长候检时间可远远长于国内外现行相关标准定性确定的1小时或0.5小时，为降低密封件表面吸附氦漏率、控制氦质谱检漏仪本底和实施批量检测，创造了关键的候检时间条件，从而扩展了适用内腔容积范围，加严了判据范围，以不同的严密等级τHemin和可靠贮存寿命，给出了更具有可操作性的压氦法和预充氦法氦质谱细检漏方法。

主权项

一种基于定量确定最长候检时间的氦质谱细检漏方法，包括步骤S41：判断单元判断被检件处于空气中等候检测的候检时间是否不大于定量确定的最长候检时间tmax，其特征在于：在步骤S41中，最长候检时间tmax通过以下方法得到：相同内腔容积、相同压氦压力时间或预充氦比的密封件L=L0、τHe=τHe0时测量漏率R，衰减至密封件τHe=τHemin时测量漏率判据Rmax的候检时间，其中L为等效标准漏率，L0为粗检漏最小可检漏率，τHe为氦气交换时间常数，τHemin为合格密封件的最小氦气交换时间常数——严密等级，τHe0为粗漏氦气交换时间常数： τ He 0 = VP 0 L 0 M He M A 其中，V为被检件内腔容积，P0为标准大气压，MHe为氦气的克分子量，MA为空气的平均克分子量。