[发明专利]一种铜锌锡硫薄膜太阳能电池的全非真空工艺制备方法

摘要

一种铜锌锡硫薄膜太阳能电池的全非真空工艺制备方法，属于光电材料新能源技术领域，本发明成本低廉并且适合太阳能电池的规模化大批量生产，其步骤包括：a、提供衬底层；b、背电极层制备:制备一层钼或银薄膜；c、吸收层制备：制备铜锌锡金属前躯体，再通过硫化热处理得到铜锌锡硫薄膜；d、缓冲层制备：制备硫化镉或硫化锌薄膜；e、窗口层制备：制备本征氧化锌窗口层薄膜；f、顶电极层制备：制备掺铝氧化锌顶电极层薄膜；g、栅电极制备：采用再流焊层压复合工艺制备栅电极。本发明具有工艺成本低、适合大规模生产的优点，因而具有非常好的推广利用价值。

主权项

一种铜锌锡硫薄膜太阳能电池的全非真空工艺制备方法，其特征是，其步骤包括：a、提供衬底层；b、背电极层制备：采用电化学沉积法制备一层钼或银薄膜；c、吸收层制备：采用电化学沉积法制备铜锌锡金属前躯体，再通过硫化热处理得到铜锌锡硫薄膜；d、缓冲层制备：采用化学水浴法制备硫化镉或硫化锌薄膜；e、窗口层制备：采用化学水浴法制备本征氧化锌窗口层薄膜；f、顶电极层制备：采用化学水浴法制备掺铝氧化锌顶电极层薄膜；g、栅电极制备：采用再流焊层压复合工艺制备栅电极。