[发明专利]刻蚀烘烤设备

摘要

本发明提供了一种刻蚀烘烤设备，该设备具有设备包括：反应腔，用于容纳需被清洁的石墨盘或外延衬底片；加热组件，加热组件构造在反应腔的外侧并能被操作提升反应腔内的温度；其中，刻蚀烘烤设备包括循环风冷系统，循环风冷系统包括：使气流循环运动的鼓风机；位于反应腔上方的顶部集气槽；位于反应腔下方的底部集气槽；连通在顶部集气槽和底部集气槽之间的风腔，风腔位于反应腔四周，引入风腔中的气流能够对加热组件进行冷却；以及换热器，换热器通过循环风道连接到底部集气槽的下游。采用本发明的刻蚀烘烤设备，反应腔体风道内相关的发热和受热部件可以被冷却，从而能够保证设备正常加热和使用。

主权项

一种刻蚀烘烤设备（10），所述设备包括：反应腔（300），用于容纳需被清洁的石墨盘或外延衬底片；加热组件（400），所述加热组件（400）构造在反应腔（300）的外侧并能被操作提升反应腔（300）内的温度；其特征在于，所述刻蚀烘烤设备（10）包括循环风冷系统（200），所述循环风冷系统（200）包括：串接在所述循环风冷系统（200）中、使气流循环运动的鼓风机（210）；位于反应腔（300）上方的顶部集气槽（220）；位于反应腔（300）下方的底部集气槽（230）；连通在所述顶部集气槽（220）和所述底部集气槽（230）之间的风腔，所述风腔位于所述反应腔（300）四周，引入风腔（240）中的气流能够对所述加热组件（400）进行冷却；以及换热器（250），所述换热器（250）通过循环风道连接到底部集气槽（230）的下游。