[发明专利]一体式高精度三轴磁传感器

摘要

一种一体式高精度三轴磁传感器，包括四个磁测量单元、信号输出和偏置电极、平面内聚集器、四个磁变轨聚集器、四个凹坑以及基底，所述平面聚集器采用自身对称式结构并位于基底的中间位置处，所述四个磁变轨聚集器在平面聚集器的四面呈对称状分布，每个所述磁变轨聚集器均位于一个凹坑中；每个磁测量单元均包括用两个GMR敏感元件和两个GMR参考元件构成的惠斯通电桥。本发明具有结构简单紧凑、体积小、制造方便、制作成本低廉、灵敏度高等优点。

主权项

一种一体式高精度三轴磁传感器，其特征在于：包括四个磁测量单元(1)、信号输出和偏置电极、平面聚集器(2)、四个磁变轨聚集器(3)、四个凹坑(4)以及基底(10)，所述平面聚集器(2)采用自身对称式结构并位于基底(10)的中间位置处，所述四个磁变轨聚集器(3)在平面聚集器(2)的四面呈对称状分布，每个所述磁变轨聚集器(3)均位于一个凹坑(4)中；每个磁测量单元(1)均包括用两个GMR敏感元件(8)和两个GMR参考元件(7)构成的惠斯通电桥。