[发明专利]大温区低电阻率温度系数薄膜材料及其制备方法无效
申请号: | 201310023361.3 | 申请日: | 2013-01-22 |
公开(公告)号: | CN103060603A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 曹则贤;鲁年鹏;纪爱玲 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | C22C9/00 | 分类号: | C22C9/00;C23C14/34;C23C14/18 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种大温区低电阻率温度系数薄膜材料及其制备方法,大温区低电阻率温度系数薄膜材料的分子式为Cu3NAgx,其中,x为0.57~1.00。本发明制备的Cu3NAgx薄膜材料,其表面光滑致密,结构单一及组分均匀,在5~300K的大温度区间范围内,当银掺杂量大于0.570后,薄膜的TCR值开始变得很小,最小可达18ppm/K,其可用作电子学器件的大温区精密电阻材料,具有广泛的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 大温区低 电阻率 温度 系数 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种大温区低电阻率温度系数薄膜材料,其分子式为Cu3NAgx,其中,x为0.57~1.00。
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