[发明专利]一种磷扩散炉抽风管装置无效
| 申请号： | 201310017427.8 | 申请日： | 2013-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN103103613A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 陈功 | 申请（专利权）人： | 陈功 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;H01L21/223 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 胡根良 |
| 地址： | 313100 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磷扩散炉抽风管装置，包括抽风管与密封水箱，该抽风管为U形管，抽风管一端设置进风口，抽风管另一端设有出风口并连接抽风机，抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层，抽风管底部开口并设有缩口结构；该密封水箱包括上方敞口的方形密封箱体，密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构，密封箱体底部侧面设有进水口，密封箱体正对进水口的侧面在进水口上方设有溢流排水口，缩口结构插入张口结构密封并固定。本发明利用雾状稀释氨水迅速冷却扩散炉管中排除的尾气，防止熔化抽风管的特氟龙涂层，同时使三氯氧磷在抽风管内迅速液化，而在抽风管内迅速液化的三氯氧磷液体落进了密封水箱，并在密封水箱内进行中和无害化处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 抽风 装置 | ||
【主权项】：
一种磷扩散炉抽风管装置，其特征在于：包括抽风管与密封水箱，该抽风管为U形管，抽风管一端设置开口方向与抽风管左侧管道垂直的进风口，抽风管另一端设有高于进风口的出风口，该出风口开口向上并连接抽风机，抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层，所述抽风管底部开口并设有缩口结构；该密封水箱包括上方敞口的方形密封箱体，密封箱体上方敞口部位为向外侧张开的张口结构，密封箱体底部侧面设有进水口，密封箱体正对进水口的侧面在进水口上方设有溢流排水口，所述缩口结构插入所述张口结构，缩口结构与张口结构密封并固定。
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