[发明专利]光学元件以及马赫－曾德型光波导元件

摘要

提供光学元件以及马赫－曾德型光波导元件。光学元件具备具有由肋部及夹着上述肋部位于其两侧且比上述肋部的厚度薄的第一及第二平板部形成的芯线的光波导，上述芯线的上述肋部和上述第一及第二平板部由半导体单晶一体地形成，上述第一平板部具有掺杂成P型的P型区域，上述第二平板部具有掺杂成N型的N型区域，上述肋部具有与设于上述第一平板部的P型区域接触的P型区域及与设置于上述第二平板部的N型区域接触的N型区域，上述肋部的P型区域和N型区域接触而构成PN结部，上述肋部具有在与上述光波导的长度方向垂直的截面中位于比上述第一及第二平板部靠上方的位置的上端部，上述肋部的上端部具有由本征区域、及以邻接的上述P型区域或N型区域的掺杂浓度的1/10以下的掺杂浓度掺杂的低浓度掺杂区域中的一方形成的未掺杂区域。

主权项

一种光学元件，所述光学元件具备光波导，该光波导具有由肋部以及夹着所述肋部位于所述肋部的两侧、且厚度比所述肋部的厚度薄的第一平板部和第二平板部形成的芯线，所述光学元件的特征在于，所述芯线的所述肋部、所述第一平板部、以及所述第二平板部由半导体单晶一体地形成，所述第一平板部具有掺杂成P型的P型区域，所述第二平板部具有掺杂成N型的N型区域，所述肋部具有与设置于所述第一平板部的P型区域接触的P型区域、以及与设置于所述第二平板部的N型区域接触的N型区域，通过所述肋部的P型区域和N型区域相互接触而构成PN结部，所述肋部具有在与所述光波导的长度方向垂直的截面中位于比所述第一平板部以及所述第二平板部靠上方的位置的上端部，所述肋部的上端部具有由本征区域、以及以邻接的所述P型区域或者N型区域的掺杂浓度的1/10以下的掺杂浓度掺杂的低浓度掺杂区域中的一方形成的未掺杂区域。