[发明专利]液体喷出头的制造方法

摘要

一种液体喷出头的制造方法，包括：制备包括第一层的基板的步骤；由第一层形成流路型模和构件的步骤，其中流路型模用于形成流路，构件以在型模与构件之间具有间隙的方式位于型模的外侧；以如下方式设置第二层的步骤：使得间隙被第二层填充，第二层覆盖型模和以型模与构件之间具有间隙的方式位于型模的外侧的构件；由第二层形成喷出口形成构件的步骤，其中喷出口形成构件用于形成喷出口；去除以在型模与构件之间具有间隙的方式位于型模的外侧的构件的步骤；以及形成壁构件的步骤，其中壁构件以在喷出口形成构件与壁构件之间的区域的至少一部分具有间隙的方式位于喷出口形成构件的外侧。

主权项

一种液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头包括连接到喷出液体的喷出口的流路，所述制造方法顺次包括以下步骤：制备包括第一层的基板的步骤；由所述第一层形成流路型模和构件的步骤，其中所述流路型模用于形成所述流路，所述构件以在所述型模与所述构件之间具有间隙的方式位于所述型模的外侧；以如下方式设置第二层的步骤：使得所述间隙被所述第二层填充，所述第二层覆盖所述型模和以所述型模与所述构件之间具有间隙的方式位于所述型模的外侧的所述构件；由所述第二层形成喷出口形成构件的步骤，其中所述喷出口形成构件用于形成喷出口；去除以在所述型模与所述构件之间具有间隙的方式位于所述型模的外侧的所述构件的步骤；以及形成壁构件的步骤，其中所述壁构件以在所述喷出口形成构件与所述壁构件之间的区域的至少一部分具有间隙的方式位于所述喷出口形成构件的外侧，其中，形成所述壁构件的步骤还包括：以使得第三层覆盖所述喷出口形成构件的方式形成所述第三层的步骤，以及由所述第三层形成所述壁构件的步骤，并且在与所述基板的表面平行的截面中，所述构件的面积比所述型模的面积大。