[发明专利]薄膜形成方法及薄膜形成装置

摘要

本发明提供一种薄膜形成方法及薄膜形成装置。通过反复进行薄膜材料的液滴向基板的表面中形成薄膜图案的区域的边缘的着落与已着落的薄膜材料的固化，在形成薄膜图案的区域的边缘形成由薄膜材料构成的边缘图案。以边缘图案来使薄膜材料的液滴着落于所划分出边缘的内部区域。使着落于内部区域的薄膜材料固化。形成由边缘图案和着落于内部区域的薄膜材料构成的薄膜图案。

主权项

一种薄膜形成方法，其中，具有：通过反复进行薄膜材料的液滴向基板的表面中形成薄膜图案的区域的边缘的着落与已着落的薄膜材料的固化，由此在形成所述薄膜图案的区域的边缘形成由薄膜材料构成的边缘图案的步骤；在通过所述边缘图案而划定有边缘的内部区域着落薄膜材料的液滴的步骤；及使着落于所述内部区域的薄膜材料固化的步骤，所述薄膜材料是通过光照射固化的光固化性材料，在形成所述边缘图案的步骤中，使形成有吐出薄膜材料的多个喷嘴孔以及放射固化用光的光源的喷嘴单元与保持于载物台的所述基板中的一个相对于另一个移动的同时，通过使薄膜材料从所述喷嘴孔吐出，使薄膜材料的液滴着落于形成所述薄膜图案的区域的边缘，并且向着落于所述基板的薄膜材料照射来自所述光源的固化用光从而使着落于所述基板的薄膜材料固化，在使薄膜材料的液滴着落于所述内部区域的步骤中，在将所述基板保持于所述载物台的状态下，使所述喷嘴单元与所述基板中的一个相对于另一个移动的同时，通过使薄膜材料从所述喷嘴孔吐出，使薄膜材料的液滴着落于所述内部区域，其中，将使所述喷嘴单元与所述基板中的一个相对于另一个朝向一方向移动的同时，使薄膜材料从所述喷嘴孔吐出的处理设为1次扫描，在形成所述边缘图案的步骤中，对所述基板的1个区域进行多次扫描，在形成所述边缘图案的步骤中，在所述扫描期间从所述光源向着落于所述基板的薄膜材料照射光，使薄膜材料着落于所述内部区域的步骤的扫描结束之后，使所述光源与所述基板中的一个相对于另一个移动的同时，向着落于所述内部区域的薄膜材料照射光。