[发明专利]工艺条件测量设备(PCMD)和方法

摘要

一种工艺条件测量设备(PCMD)可包括第一和第二衬底组件。一个或多个温度传感器被嵌入到每个衬底组件中。第一和第二衬底组件被夹设在一起以使第二衬底组件中的每个温度传感器串联对准于第一衬底组件中的相应温度传感器。替代地，第一和第二温度传感器可在同一衬底中并联地设置。当PCMD受工件加工工具中的工艺条件作用时，可测量多对相应的温度传感器之间的温度差。可从这些温度差计算出工具中的工艺条件。

主权项

一种工艺条件测量设备，包括：a)衬底组件、与所述衬底组件一起被夹设的附加衬底组件；b)嵌入在所述衬底组件和所述附加衬底组件之间的一个或多个热通量传感器，其中所述一个或多个热通量传感器配置成获取与所述工艺条件测量设备垂直的热通量值；以及c)存储计算机可执行指令的计算机可读介质，配置成使用热通量值作为代表来确定工件加工工具中除热条件以外的工艺条件。