[发明专利]一种减速场扫描式电子显微镜以及减速场扫描式电子显微镜中采用活动刀片的切片机包括相同的切片机有效
| 申请号： | 201280010751.0 | 申请日： | 2012-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN103403835A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 西蒙﹒安德鲁﹒盖洛威 | 申请（专利权）人： | 加登有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G01N1/06 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 何强 |
| 地址： | 美国宾夕法尼亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明披露了一种可现场安装在扫描式电子显微镜（SEM）成像室内的切片机。其包括一高压下产生减速场的试样夹具以及一活动刀片。该SEM包括一置于临近试样夹具的反向散射电子检测器。设置的刀片将与试样夹具上的试样接触以切除一小部分试样并暴露出试样的新表面，而不会干扰施加在试样上的高压，所述刀片的安装方式应保证完成上述过程之后可退回至不干扰减速场的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减速 扫描 电子显微镜 以及 采用 活动 刀片 切片机 包括 相同 | ||
【主权项】：
一种可现场安装在扫描式电子显微镜成像室内的切片机，其中所述显微镜包括一高压下产生减速场的试样夹具、一置于临近试样夹具的反向散射电子检测器和一切片机，所述切片机包含一刀片，所述刀片与试样夹具上的试样接触以切除一小部分试样并暴露出试样新切面，所述刀片的安装方式应保证切割试样并暴露出试样新切面之后可退回至不干扰减速场的位置。
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