[发明专利]紫外线激光装置有效

专利信息
申请号: 201280008296.0 申请日: 2012-03-23
公开(公告)号: CN103348286A 公开(公告)日: 2013-10-09
发明(设计)人: 尾下善紀;徳久章 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: G02F1/37 分类号: G02F1/37
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 李今子
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 紫外线激光装置具备输出红外线激光光的激光光输出部、将红外线激光光波长转换的波长转换部。激光光输出部具备输出波长为1900~2000nm的第1红外线激光光的第1激光光输出部、与输出波长为1000~1100nm的第2红外线激光光的第2激光光输出部。波长转换光学系具备第1红外线激光光射入并传播的第1系列I、与在第1系列传播后的激光光及从第2激光光输出部输出的第2红外线激光光合波后传播的第2系列II,射入波长转换光学系后的第1、第2红外线激光光被波长转换光学元件31~34依序波长转换,由此输出紫外线激光光。
搜索关键词: 紫外线 激光 装置
【主权项】:
一种紫外线激光装置,具备输出红外线波长的激光光的激光光输出部、具有波长转换光学元件且将从所述激光光输出部输出的红外线激光光波长转换成紫外线波长的激光光并输出的波长转换部,其特征在于:该激光光输出部具备输出波长为1900~2000nm的第1红外线激光光的第1激光光输出部、与输出波长为1000~1100nm的第2红外线激光光的第2激光光输出部;该波长转换部具备从所述第1激光光输出部输出的第1红外线激光光射入并传播的第1系列、与在所述第1系列传播后的激光光及从所述第2激光光输出部输出的第2红外线激光光合波后射入并传播的第2系列;射入所述波长转换部的所述第1及第2红外线激光光被设在所述波长转换部的波长转换光学元件波长转换,由此从所述第2系列输出紫外线激光光。
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