[实用新型]光罩基板的包装盒有效
申请号: | 201220748819.2 | 申请日: | 2012-12-31 |
公开(公告)号: | CN203006142U | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 刘靖 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | B65D85/48 | 分类号: | B65D85/48;B65D81/05;B65D25/04 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种光罩基板的包装盒,所述光罩基板的包装盒包括:箱体和N个内盖。所述箱体均匀分成N个容置空间,每个内盖遮盖一个容置空间。其中,N为大于等于2的整数。在本实用新型提供的光罩基板的包装盒均匀分隔成多个容置空间,而且采用内盖形成了多个独立的包装单元,存放在里面的光罩基板之间能够相互隔离,在取用光罩基板过程中也能够避免外部环境中的微尘粒子(Particle)污染光罩基板。 | ||
搜索关键词: | 光罩基板 包装 | ||
【主权项】:
一种光罩基板的包装盒,其特征在于,包括:箱体和N个内盖;其中,所述箱体均匀分成N个容置空间,每个内盖遮盖一个容置空间;其中,N为大于等于2的整数。
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